无尘烤箱配备HEPA过滤器，以保持炉腔无颗粒。 HEPA过滤器(高效微粒捕获)现在是电子和平板显示器洁净室组装的主要过滤系统，或任何需要减少或去除亚微米微粒的应用。 HEPA过滤器具有随机定位的微玻璃纤维的深床，其中与平均纤维直径和自由路径横截面的有效孔相比，总床深度(过滤器的厚度)非常大。

　　通过HEPA过滤器的气体必须流过的通道不是直的，而是非常曲折的。随着颗粒对纤维的影响并粘附在纤维上，通道变得更小并且过滤器的效率提高。无尘烤箱以及LCD行业的特殊输送炉中使用这些过滤器。为了保护过滤器不会在烤箱中过热，实施了用于过滤器的特殊保护系统。 HEPA过滤器在正常条件下保持其在烤箱中的效率一至数年。 HEPA不需要任何清洁或维护来保持这种效率。无尘烤箱用于半导体行业。

　　无尘烤箱特点

　　1、用于烘烤非光敏聚酰亚胺(PI)的清洁烤箱，在干净的环境中处理集成的HEPA过滤器。温度高达350°C 温度。 氧气可以保持<20ppm。可编程控制器。内部尺寸可自定义。

　　2、可以提供与PC的数据耦合，这允许长期数据存储以及统计过程控制SPC，配方管理和过程可视化。

　　3、 强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，从而得到高精度温度控制。

　　4、可实现智能化生产要求。SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。